GB/T 11073-1989 《硅片径向电阻率变化的测量方法》-国家标准
目录
标准基础信息
- 标准号：GB/T 11073-1989
- 标准中文名称：硅片径向电阻率变化的测量方法
- 标准英文名称：Standard method for measuring radial resistivity variation on silicon slices
国家标准《硅片径向电阻率变化的测量方法》由610（中国有色金属工业协会）归口，主管部门为中国有色金属工业协会。主要起草单位峨嵋半导体材料研究所。被GB/T 11073-2007GB/T 11073-2007全部代替
- 标准号
- GB/T 11073-1989
- 发布日期
- 1989-03-31
- 实施日期
- 1990-02-01
- 废止日期
- 2008-02-01
- 标准类别
- 方法
- 中国标准分类号
- H21
- 归口单位
- 中国有色金属工业协会
- 执行单位
- 中国有色金属工业协会
- 主管部门
- 中国有色金属工业协会
标准全文
- 点击查看标准全文。