GB/T 11297.6-1989 《锑化铟单晶位错蚀坑的腐蚀显示及测量方法》-国家标准

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标准基础信息

  • 标准号:GB/T 11297.6-1989
  • 标准中文名称:锑化铟单晶位错蚀坑的腐蚀显示及测量方法
  • 标准英文名称:Standard method for showing andmeasuring dislocation etch pits in indium antimonide single crystal

国家标准《锑化铟单晶位错蚀坑的腐蚀显示及测量方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位电子十一所。


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标准号
GB/T 11297.6-1989
发布日期
1989-03-31
实施日期
1990-01-01
标准类别
方法
中国标准分类号
L32
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

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标准全文


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