GB/T 12963-1996 《硅多晶》-国家标准
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标准基础信息
- 标准号：GB/T 12963-1996
- 标准中文名称：硅多晶
- 标准英文名称：Polycrystalline silicon
国家标准《硅多晶》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位峨眉半导体材料厂。全部代替GB 12963-1991被GB/T 12963-2009GB/T 12963-2009全部代替本标准等效采用ITU国际标准：SEMI M16:1989。采标中文名称:。
- 标准号
- GB/T 12963-1996
- 发布日期
- 1996-11-04
- 实施日期
- 1997-04-01
- 废止日期
- 2010-06-01
- 标准类别
- 产品
- 中国标准分类号
- H82
- 国际标准分类号
- 29.045
29 电气工程 29.045 半导体材料 - 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
标准全文
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