GB/T 13387-1992 《电子材料晶片参考面长度测量方法》-国家标准

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标准基础信息

  • 标准号:GB/T 13387-1992
  • 标准中文名称:电子材料晶片参考面长度测量方法
  • 标准英文名称:Test method for measuring flat length on slices of electronic materials

国家标准《电子材料晶片参考面长度测量方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位北京有色金属研究总院。被GB/T 13387-2009GB/T 13387-2009全部代替本标准等同采用ITU国际标准:ASTM F671:1983。采标中文名称:。


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标准号
GB/T 13387-1992
发布日期
1992-02-19
实施日期
1992-10-01
废止日期
2010-06-01
标准类别
方法
中国标准分类号
H21
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

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标准全文


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