GB/T 13389-1992 《掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程》-国家标准
目录
标准基础信息
- 标准号：GB/T 13389-1992
- 标准中文名称：掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程
- 标准英文名称：Practice for conversion between resistivity and dopant density for boron-doped and phosphorus-doped silicon
国家标准《掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位峨嵋半导体材料研究所。被GB/T 13389-2014GB/T 13389-2014全部代替本标准等同采用ITU国际标准：ASTM F723:1987。采标中文名称:。
- 标准号
- GB/T 13389-1992
- 发布日期
- 1992-02-19
- 实施日期
- 1992-10-01
- 标准类别
- 方法
- 中国标准分类号
- H21
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
标准全文
- 点击查看标准全文。