GB/T 13843-1992 《蓝宝石单晶抛光衬底片》-国家标准
目录
标准基础信息
- 标准号：GB/T 13843-1992
- 标准中文名称：蓝宝石单晶抛光衬底片
- 标准英文名称：Polished monocrystalline sapphire substrates
国家标准《蓝宝石单晶抛光衬底片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位天津半导体技术研究所。本标准非等效采用ITU国际标准：SEMI M3:1983。采标中文名称:。
- 标准号
- GB/T 13843-1992
- 发布日期
- 1992-12-28
- 实施日期
- 1993-08-01
- 废止日期
- 2017-12-15
- 标准类别
- 产品
- 中国标准分类号
- L90
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
标准全文
- 点击查看标准全文。