GB/T 14140.1-1993 《硅片直径测量方法 光学投影法》-国家标准
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标准基础信息
- 标准号：GB/T 14140.1-1993
- 标准中文名称：硅片直径测量方法 光学投影法
- 标准英文名称：Silicon slices and wafers--Measuring of diameter--Optical projecting method
国家标准《硅片直径测量方法 光学投影法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位洛阳单晶硅厂。被GB/T 14140-2009GB/T 14140-2009全部代替本标准等效采用ITU国际标准：ASTM F613:1987。采标中文名称:。
- 标准号
- GB/T 14140.1-1993
- 发布日期
- 1993-02-06
- 实施日期
- 1993-10-01
- 废止日期
- 2010-06-01
- 标准类别
- 方法
- 中国标准分类号
- H21
- 国际标准分类号
- 77.040.01
77 冶金 77.040 金属材料试验 77.040.01 金属材料试验综合 - 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
标准全文
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