GB/T 14142-1993 《硅外延层晶体完整性检查方法 腐蚀法》-国家标准
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标准基础信息
- 标准号：GB/T 14142-1993
- 标准中文名称：硅外延层晶体完整性检查方法 腐蚀法
- 标准英文名称：Test method for crystallographic perfection of epit-axial layers in silicon by etching techniques
国家标准《硅外延层晶体完整性检查方法 腐蚀法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位峨眉半导体材料研究所。被GB/T 14142-2017GB/T 14142-2017全部代替本标准非等效采用ITU国际标准：ASTM F80:1985。采标中文名称:。
- 标准号
- GB/T 14142-1993
- 发布日期
- 1993-02-06
- 实施日期
- 1993-10-01
- 废止日期
- 2018-04-01
- 标准类别
- 方法
- 中国标准分类号
- H26
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
标准全文
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