GB/T 14145-1993 《硅外延层堆垛层错密度测定 干涉相衬显微镜法》-国家标准
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标准基础信息
- 标准号：GB/T 14145-1993
- 标准中文名称：硅外延层堆垛层错密度测定 干涉相衬显微镜法
- 标准英文名称：Test method for stacking fault density of epitaxial layers of silicon by interference-contract microscopy
国家标准《硅外延层堆垛层错密度测定 干涉相衬显微镜法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位上海有色金属研究所。
- 标准号
- GB/T 14145-1993
- 发布日期
- 1993-02-06
- 实施日期
- 1993-10-01
- 废止日期
- 2004-10-14
- 标准类别
- 方法
- 中国标准分类号
- H24
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
标准全文
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