GB/T 14851-1993 《电子工业用气体 磷化氢》-国家标准

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标准基础信息

  • 标准号:GB/T 14851-1993
  • 标准中文名称:电子工业用气体 磷化氢
  • 标准英文名称:Gas for electronic industry--Phosphine

国家标准《电子工业用气体 磷化氢》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位化工部光明化工研究所。被GB/T 14851-2009GB/T 14851-2009全部代替本标准非等效采用ITU国际标准:SEMI C3 STD.6:1988 SEMI C3 STD.7:1988。采标中文名称:。


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标准号
GB/T 14851-1993
发布日期
1993-12-30
实施日期
1994-10-01
废止日期
2010-05-01
标准类别
产品
中国标准分类号
G87
国际标准分类号
71.100.20
71 化工技术
71.100 化工产品
71.100.20 工业气体
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

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标准全文


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