GB/T 15615-1995 《硅片抗弯强度测试方法》-国家标准
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标准基础信息
- 标准号：GB/T 15615-1995
- 标准中文名称：硅片抗弯强度测试方法
- 标准英文名称：Test method for measuring flexure strength of silicon slices
国家标准《硅片抗弯强度测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位中南工业大学。
- 标准号
- GB/T 15615-1995
- 发布日期
- 1995-07-12
- 实施日期
- 1996-02-01
- 废止日期
- 2004-10-14
- 标准类别
- 方法
- 中国标准分类号
- H23
- 国际标准分类号
- 77.040.01
77 冶金 77.040 金属材料试验 77.040.01 金属材料试验综合 - 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
标准全文
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