GB/T 15861-1995 《离子束蚀刻机通用技术条件》-国家标准
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标准基础信息
- 标准号：GB/T 15861-1995
- 标准中文名称：离子束蚀刻机通用技术条件
- 标准英文名称：Generic specification of ion beam etching system
国家标准《离子束蚀刻机通用技术条件》由339-1（工业和信息化部（电子））归口，主管部门为工业和信息化部（电子）。主要起草单位电子部长沙半导体工艺设备所。被GB/T 15861-2012GB/T 15861-2012全部代替
- 标准号
- GB/T 15861-1995
- 发布日期
- 1995-12-22
- 实施日期
- 1996-08-01
- 废止日期
- 2013-02-15
- 标准类别
- 产品
- 中国标准分类号
- L97
- 国际标准分类号
- 31.200
31 电子学 31.200 集成电路、微电子学 - 归口单位
- 工业和信息化部（电子）
- 执行单位
- 工业和信息化部（电子）
- 主管部门
- 工业和信息化部（电子）
标准全文
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