GB/T 15871-1995 《硬面光掩模基板》-国家标准
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标准基础信息
- 标准号：GB/T 15871-1995
- 标准中文名称：硬面光掩模基板
- 标准英文名称：Hard surface photomask substrates
国家标准《硬面光掩模基板》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位长沙韶光微电子总公司。本标准非等效采用其他国际标准：SEMI P1:1992。采标中文名称:。
- 标准号
- GB/T 15871-1995
- 发布日期
- 1995-12-22
- 实施日期
- 1996-08-01
- 标准类别
- 产品
- 中国标准分类号
- L97
- 国际标准分类号
- 31.030
31 电子学 31.030 电子技术专用材料 - 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
标准全文
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