GB/T 16527-1996 《硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范》-国家标准
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标准基础信息
- 标准号：GB/T 16527-1996
- 标准中文名称：硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范
- 标准英文名称：Specification for photoresist/E-beam resist for hard surface photoplates
国家标准《硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位长沙韶光微电子总公司。本标准等效采用其他国际标准：SEMI P3:1990。采标中文名称:。
- 标准号
- GB/T 16527-1996
- 发布日期
- 1996-09-09
- 实施日期
- 1997-05-01
- 标准类别
- 产品
- 中国标准分类号
- L90
- 国际标准分类号
- 31.200
31 电子学 31.200 集成电路、微电子学 - 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
标准全文
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