GB/T 16596-1996 《确定晶片坐标系规范》-国家标准
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标准基础信息
- 标准号：GB/T 16596-1996
- 标准中文名称：确定晶片坐标系规范
- 标准英文名称：Specification for establishing a wafer coordinatesystem
国家标准《确定晶片坐标系规范》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位中国有色金属工业总公司。被GB/T 16596-2019GB/T 16596-2019全部代替本标准等效采用其他国际标准：SEMI M20:1992。采标中文名称:。
- 标准号
- GB/T 16596-1996
- 发布日期
- 1996-11-04
- 实施日期
- 1997-04-01
- 废止日期
- 2020-02-01
- 标准类别
- 方法
- 中国标准分类号
- H21
- 国际标准分类号
- 29.045
29 电气工程 29.045 半导体材料 - 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
标准全文
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