GB/T 16945-1997 《电子工业用气体 氩》-国家标准
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标准基础信息
- 标准号：GB/T 16945-1997
- 标准中文名称：电子工业用气体 氩
- 标准英文名称：Gases for electronic industry--Argon
国家标准《电子工业用气体 氩》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位化学工业部西南化工研究院。被GB/T 16945-2009GB/T 16945-2009全部代替本标准等效采用ITU国际标准：SEMI C3.46:1993(1995)。采标中文名称:。
- 标准号
- GB/T 16945-1997
- 发布日期
- 1997-08-13
- 实施日期
- 1998-05-01
- 废止日期
- 2010-05-01
- 标准类别
- 产品
- 中国标准分类号
- G86
- 国际标准分类号
- 71.100.20
71 化工技术 71.100 化工产品 71.100.20 工业气体 - 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
标准全文
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