GB/T 17169-1997 《硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法》-国家标准
目录
标准基础信息
- 标准号：GB/T 17169-1997
- 标准中文名称：硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法
- 标准英文名称：Test method for the surface quality of polished silicon wafers and epitaxial wafers by optical-reflection
国家标准《硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位南开大学、天津市半导体材料厂。
- 标准号
- GB/T 17169-1997
- 发布日期
- 1997-12-22
- 实施日期
- 1998-08-01
- 废止日期
- 2004-10-14
- 标准类别
- 方法
- 中国标准分类号
- H24
- 国际标准分类号
- 29.045
29 电气工程 29.045 半导体材料 - 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
标准全文
- 点击查看标准全文。