GB/T 17864-1999 《关键尺寸(CD)计量方法》-国家标准
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标准基础信息
- 标准号：GB/T 17864-1999
- 标准中文名称：关键尺寸(CD)计量方法
- 标准英文名称：CD Metrology procedures
国家标准《关键尺寸(CD)计量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位中国科学院微电子中心。本标准等同采用其他国际标准：SEMI P24:1994。采标中文名称:。
- 标准号
- GB/T 17864-1999
- 发布日期
- 1999-09-13
- 实施日期
- 2000-06-01
- 标准类别
- 方法
- 中国标准分类号
- L56
- 国际标准分类号
- 31.200
31 电子学 31.200 集成电路、微电子学 - 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
标准全文
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