收录自国家标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该国家标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。 标准基础信息 标准号：GB/T 16879-1997 标准中文名称：掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则 标准英文名称：Guidelines for precision and accuracy expression for mask writing equipment 国家标准《掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位中国科学院微电子中心。本标准等同采用其他国际标准：SEMI P21:1992。采标中文名称:。 收录 …
认准啦，用技术呵护全家！