收录自国家标准信息平台,认准啦(RenZhunLa.com)为执行该国家标准的产品或服务提供推介展位,欢迎留言交流。 标准基础信息 标准号:GB/T 16879-1997 标准中文名称:掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则 标准英文名称:Guidelines for precision and accuracy expression for mask writing equipment 国家标准《掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位中国科学院微电子中心。本标准等同采用其他国际标准:SEMI P21:1992。采标中文名称:。 收录 …
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