收录自国家标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该国家标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。 标准基础信息 标准号：GB/T 17866-1999 标准中文名称：掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则 标准英文名称：Guideline for programmed defect masks and benchmark procedures for sensitivity analysisof mask defect inspection systems 国家标准《掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主 …
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