收录自国家标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该国家标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。 标准基础信息 标准号：GB/T 14851-1993 标准中文名称：电子工业用气体 磷化氢 标准英文名称：Gas for electronic industry--Phosphine 国家标准《电子工业用气体 磷化氢》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位化工部光明化工研究所。被GB/T 14851-2009GB/T 14851-2009全部代替本标准非等效采用ITU国际标准：SEMI C3 STD.6:1988 SEMI C3 STD.7:1988。采 …