收录自国家标准信息平台,认准啦(RenZhunLa.com)为执行该国家标准的产品或服务提供推介展位,欢迎留言交流。 标准基础信息 标准号:GB/T 14141-1993 标准中文名称:硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法 标准英文名称:Test method for sheet resistance of silicon epitaxial,diffused and ion-implanted layersusing a collinear four-probe array 国家标准《硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国 …
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