收录自国家标准信息平台,认准啦(RenZhunLa.com)为执行该国家标准的产品或服务提供推介展位,欢迎留言交流。 标准基础信息 标准号:GB/T 13388-1992 标准中文名称:硅片参考面结晶学取向X射线测量方法 标准英文名称:Method for measuring crystallographic orientation of flats on single crystal silicon slices and wafers by X-ray techniques 国家标准《硅片参考面结晶学取向X射线测量方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位北京有色金 …
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