收录自国家标准信息平台,认准啦(RenZhunLa.com)为执行该国家标准的产品或服务提供推介展位,欢迎留言交流。 标准基础信息 标准号:GB/T 14140.1-1993 标准中文名称:硅片直径测量方法 光学投影法 标准英文名称:Silicon slices and wafers--Measuring of diameter--Optical projecting method 国家标准《硅片直径测量方法 光学投影法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位洛阳单晶硅厂。被GB/T 14140-2009GB/T 14140-2009全部代替本标准等效采用ITU国际标 …
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