收录自国家标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该国家标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。 标准基础信息 标准号：GB/T 15871-1995 标准中文名称：硬面光掩模基板 标准英文名称：Hard surface photomask substrates 国家标准《硬面光掩模基板》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位长沙韶光微电子总公司。本标准非等效采用其他国际标准：SEMI P1:1992。采标中文名称:。 收录自国家标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该国家标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。 …