收录自国家标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该国家标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。 标准基础信息 标准号：GB/T 16527-1996 标准中文名称：硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范 标准英文名称：Specification for photoresist/E-beam resist for hard surface photoplates 国家标准《硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位长沙韶光微电子总公司。本标准等效采用其他国际标准：SEMI P3:1990。采标中文名称:。 收录 …
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