收录自国家标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该国家标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。 标准基础信息 标准号：GB/T 15861-1995 标准中文名称：离子束蚀刻机通用技术条件 标准英文名称：Generic specification of ion beam etching system 国家标准《离子束蚀刻机通用技术条件》由339-1（工业和信息化部（电子））归口，主管部门为工业和信息化部（电子）。主要起草单位电子部长沙半导体工艺设备所。被GB/T 15861-2012GB/T 15861-2012全部代替 收录自国家标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该国家标准的产品或服务提 …
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