收录自国家标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该国家标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。 标准基础信息 标准号：GB/T 16878-1997 标准中文名称：用于集成电路制造技术的检测图形单元规范 标准英文名称：Specification for metrology pattern cells for integrated circuit manufacture 国家标准《用于集成电路制造技术的检测图形单元规范》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位中国科学院缩微电子中心。本标准等同采用其他国际标准：SEMI P19:1992。采标中文名 …
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