GB/T 12964-2003 《硅单晶抛光片》-国家标准
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标准基础信息
- 标准号：GB/T 12964-2003
- 标准中文名称：硅单晶抛光片
- 标准英文名称：Monocrystalline silicon polished wafers
国家标准《硅单晶抛光片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位北京有色金属研究总院。全部代替GB/T 12964-1996被GB/T 12964-2018GB/T 12964-2018全部代替
- 标准号
- GB/T 12964-2003
- 发布日期
- 2003-06-16
- 实施日期
- 2004-01-01
- 废止日期
- 2019-06-02
- 全部代替标准
- GB/T 12964-1996
- 标准类别
- 产品
- 中国标准分类号
- H82
- 国际标准分类号
- 29.045
29 电气工程 29.045 半导体材料 - 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
标准全文
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