GB/T 18867-2002 《电子工业用气体 六氟化硫》-国家标准
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标准基础信息
- 标准号：GB/T 18867-2002
- 标准中文名称：电子工业用气体 六氟化硫
- 标准英文名称：Gases for electronic industry--Sulfur hexafluoride
国家标准《电子工业用气体 六氟化硫》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位中核红华特种气体股份有限公司。被GB/T 18867-2014GB/T 18867-2014全部代替本标准非等效采用ITU国际标准：SEMI C3.24:1995。采标中文名称:。
- 标准号
- GB/T 18867-2002
- 发布日期
- 2002-10-15
- 实施日期
- 2003-04-01
- 废止日期
- 2015-07-01
- 标准类别
- 产品
- 中国标准分类号
- G86
- 国际标准分类号
- 71.100.20
71 化工技术 71.100 化工产品 71.100.20 工业气体 - 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
标准全文
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