GB/T 19921-2005 《硅抛光片表面颗粒测试方法》-国家标准
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标准基础信息
- 标准号：GB/T 19921-2005
- 标准中文名称：硅抛光片表面颗粒测试方法
- 标准英文名称：Test method of particles on silicon wafer surfaces
国家标准《硅抛光片表面颗粒测试方法》由TC243（全国有色金属标准化技术委员会）归口，主管部门为中国有色金属工业协会。主要起草单位北京有色金属研究总院。被GB/T 19921-2018GB/T 19921-2018全部代替
- 标准号
- GB/T 19921-2005
- 发布日期
- 2005-09-19
- 实施日期
- 2006-04-01
- 废止日期
- 2019-07-02
- 标准类别
- 方法
- 中国标准分类号
- H17
- 国际标准分类号
- 77.040.01
77 冶金 77.040 金属材料试验 77.040.01 金属材料试验综合 - 归口单位
- 全国有色金属标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国有色金属标准化技术委员会
- 主管部门
- 中国有色金属工业协会
标准全文
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