GB/T 21287-2007 《电子工业用气体 三氟化氮》-国家标准
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标准基础信息
- 标准号：GB/T 21287-2007
- 标准中文名称：电子工业用气体 三氟化氮
- 标准英文名称：Gases for electronic industry - Nitrogen trifluoride
国家标准《电子工业用气体 三氟化氮》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位核工业理化工程研究院特气中心、中核红华特种气体股份有限公司、黎明化工研究院、国家标准物质研究中心、西南化工研究设计院。主要起草人王少楠 、余启富 、宋再卿 、刘新明等 。被GB/T 21287-2021GB/T 21287-2021全部代替
- 标准号
- GB/T 21287-2007
- 发布日期
- 2007-12-14
- 实施日期
- 2008-07-01
- 废止日期
- 2022-05-01
- 标准类别
- 产品
- 中国标准分类号
- G86
- 国际标准分类号
- 71.100.20
71 化工技术 71.100 化工产品 71.100.20 工业气体 - 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
标准全文
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