GB/T 12963-2009 《硅多晶》-国家标准

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标准基础信息

  • 标准号:GB/T 12963-2009
  • 标准中文名称:硅多晶
  • 标准英文名称:Specification for polycrystalline silicon

国家标准《硅多晶》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位峨眉半导体材料厂。主要起草人罗莉萍 、张辉坚 、王炎 。全部代替GB/T 12963-1996被GB/T 12963-2014GB/T 12963-2014全部代替本标准修改采用国际标准:SEMI M16-1103:2003。采标中文名称:多晶硅规范。


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标准号
GB/T 12963-2009
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-06-01
全部代替标准
GB/T 12963-1996
标准类别
产品
中国标准分类号
H82
国际标准分类号
29.045
29 电气工程
29.045 半导体材料
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

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标准全文


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