GB/T 12963-2009 《硅多晶》-国家标准
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标准基础信息
- 标准号：GB/T 12963-2009
- 标准中文名称：硅多晶
- 标准英文名称：Specification for polycrystalline silicon
国家标准《硅多晶》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位峨眉半导体材料厂。主要起草人罗莉萍 、张辉坚 、王炎 。全部代替GB/T 12963-1996被GB/T 12963-2014GB/T 12963-2014全部代替本标准修改采用国际标准：SEMI M16-1103:2003。采标中文名称:多晶硅规范。
- 标准号
- GB/T 12963-2009
- 发布日期
- 2009-10-30
- 实施日期
- 2010-06-01
- 全部代替标准
- GB/T 12963-1996
- 标准类别
- 产品
- 中国标准分类号
- H82
- 国际标准分类号
- 29.045
29 电气工程 29.045 半导体材料 - 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
标准全文
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