GB/T 15909-2009 《电子工业用气体 硅烷(SiH4)》-国家标准
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标准基础信息
- 标准号：GB/T 15909-2009
- 标准中文名称：电子工业用气体 硅烷(SiH4)
- 标准英文名称：Gas for electronic industry - Silane
国家标准《电子工业用气体 硅烷(SiH4)》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位浙江大学材化学院半导体材料研究所、西南化工研究设计院。主要起草人余京松 、周鹏云 。全部代替GB/T 15909-1995被GB/T 15909-2017GB/T 15909-2017全部代替
- 标准号
- GB/T 15909-2009
- 发布日期
- 2009-10-30
- 实施日期
- 2010-05-01
- 废止日期
- 2017-12-01
- 全部代替标准
- GB/T 15909-1995
- 标准类别
- 产品
- 中国标准分类号
- G86
- 国际标准分类号
- 71.100.20
71 化工技术 71.100 化工产品 71.100.20 工业气体 - 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
标准全文
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