GB/T 24468-2009 《半导体设备可靠性、可用性和维修性(RAM)的定义和测量规范》-国家标准
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标准基础信息
- 标准号:GB/T 24468-2009
- 标准中文名称:半导体设备可靠性、可用性和维修性(RAM)的定义和测量规范
- 标准英文名称:Specification for definition and measurement of semiconductor equipment reliability, availability, and maintainability(RAM)
国家标准《半导体设备可靠性、可用性和维修性(RAM)的定义和测量规范》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位中国电子技术标准化研究所。主要起草人黄英华 、刘筠 、张建勇 、蒋迪宝 。本标准修改采用其他国际标准:SEMI E10-0304:2004。采标中文名称:设备可靠性、可用性和维修性(RAM)的定义和测量规范。
- 标准号
- GB/T 24468-2009
- 发布日期
- 2009-10-15
- 实施日期
- 2009-12-01
- 标准类别
- 基础
- 中国标准分类号
- L85
- 国际标准分类号
- 17.040.30
17 计量学和测量、物理现象 17.040 长度和角度测量 17.040.30 测量仪器仪表 - 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
标准全文
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