GB/T 24468-2009 《半导体设备可靠性、可用性和维修性(RAM)的定义和测量规范》-国家标准

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标准基础信息

  • 标准号:GB/T 24468-2009
  • 标准中文名称:半导体设备可靠性、可用性和维修性(RAM)的定义和测量规范
  • 标准英文名称:Specification for definition and measurement of semiconductor equipment reliability, availability, and maintainability(RAM)

国家标准《半导体设备可靠性、可用性和维修性(RAM)的定义和测量规范》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位中国电子技术标准化研究所。主要起草人黄英华 、刘筠 、张建勇 、蒋迪宝 。本标准修改采用其他国际标准:SEMI E10-0304:2004。采标中文名称:设备可靠性、可用性和维修性(RAM)的定义和测量规范。


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标准号
GB/T 24468-2009
发布日期
2009-10-15
实施日期
2009-12-01
标准类别
基础
中国标准分类号
L85
国际标准分类号
17.040.30
17 计量学和测量、物理现象
17.040 长度和角度测量
17.040.30 测量仪器仪表
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

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标准全文


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