GB/T 24576-2009 《高分辩率X射线衍射测量GaAs衬底生长的AlGaAs中Al成分的试验方法》-国家标准

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标准基础信息

  • 标准号:GB/T 24576-2009
  • 标准中文名称:高分辩率X射线衍射测量GaAs衬底生长的AlGaAs中Al成分的试验方法
  • 标准英文名称:Test method for measuring the Al fraction in AlGaAs on GaAs substrates by high resolution X-ray diffraction

国家标准《高分辩率X射线衍射测量GaAs衬底生长的AlGaAs中Al成分的试验方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子科技集团公司第四十六研究所。主要起草人章安辉 、黄庆涛 、何秀坤 。本标准等同采用其他国际标准:SMEI M63-0306。采标中文名称:准则:采用高分辨率X光衍射法测量砷化镓衬底上AlGaAs中Al百分含量的测试方法。


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标准号
GB/T 24576-2009
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-06-01
标准类别
方法
中国标准分类号
H80
国际标准分类号
29.045
29 电气工程
29.045 半导体材料
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

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标准全文


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