GB/T 25755-2010 《真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量》-国家标准
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标准基础信息
- 标准号：GB/T 25755-2010
- 标准中文名称：真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量
- 标准英文名称：Vacuum technology - Sputter-ion pumps - Measurement of performance characteristics
国家标准《真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量》由TC18（全国真空技术标准化技术委员会）归口，主管部门为中国机械工业联合会。主要起草单位北京中科科仪技术发展有限责任公司、沈阳真空技术研究所。主要起草人邹蒙 、张勤德 、朱国精 、马殿理 、李春影 。
- 标准号
- GB/T 25755-2010
- 发布日期
- 2010-12-23
- 实施日期
- 2011-10-01
- 标准类别
- 方法
- 中国标准分类号
- J78
- 国际标准分类号
- 23.160
23 流体系统和通用件 23.160 真空技术 - 归口单位
- 全国真空技术标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国真空技术标准化技术委员会
- 主管部门
- 中国机械工业联合会
标准全文
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