GB/T 26111-2010 《微机电系统（MEMS）技术 术语》-国家标准
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标准基础信息
- 标准号：GB/T 26111-2010
- 标准中文名称：微机电系统（MEMS）技术 术语
- 标准英文名称：Micro-electromechanical system technology - Terms
国家标准《微机电系统（MEMS）技术 术语》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位中机生产力促进中心、中国电子科技集团第13研究所、清华大学、上海交通大学、中北大学等。主要起草人丁红宇 、刘伟 、张苹 、崔波等 。
- 标准号
- GB/T 26111-2010
- 发布日期
- 2011-01-10
- 实施日期
- 2011-10-01
- 标准类别
- 基础
- 中国标准分类号
- L55
- 国际标准分类号
- 31.200
31 电子学 31.200 集成电路、微电子学 - 归口单位
- 全国微机电技术标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国微机电技术标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
标准全文
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