GB/T 26113-2010 《微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则》-国家标准
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标准基础信息
- 标准号：GB/T 26113-2010
- 标准中文名称：微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则
- 标准英文名称：Micro-electromechanical system technology - General rules for the assessment of micro-geometrical parameters
国家标准《微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位中机生产力促进中心、西安交通大学、天津大学、中原工学院。主要起草人丁红宇 、张苹 、刘伟 、蒋庄德 、景蔚萱等 。
- 标准号
- GB/T 26113-2010
- 发布日期
- 2011-01-10
- 实施日期
- 2011-10-01
- 标准类别
- 基础
- 中国标准分类号
- L55
- 国际标准分类号
- 31.200
31 电子学 31.200 集成电路、微电子学 - 归口单位
- 全国微机电技术标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国微机电技术标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
标准全文
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