GB/T 6624-2009 《硅抛光片表面质量目测检验方法》-国家标准
目录
标准基础信息
- 标准号：GB/T 6624-2009
- 标准中文名称：硅抛光片表面质量目测检验方法
- 标准英文名称：Standard method for measuring the surface quality of polished silicon slices by visual inspection
国家标准《硅抛光片表面质量目测检验方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位上海合晶硅材料有限公司。主要起草人徐新华 、王珍 。全部代替GB/T 6624-1995
- 标准号
- GB/T 6624-2009
- 发布日期
- 2009-10-30
- 实施日期
- 2010-06-01
- 全部代替标准
- GB/T 6624-1995
- 标准类别
- 方法
- 中国标准分类号
- H80
- 国际标准分类号
- 29.045
29 电气工程 29.045 半导体材料 - 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
标准全文
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