收录自国家标准信息平台,认准啦(RenZhunLa.com)为执行该国家标准的产品或服务提供推介展位,欢迎留言交流。 标准基础信息 标准号:GB/T 26113-2010 标准中文名称:微机电系统(MEMS)技术 微几何量评定总则 标准英文名称:Micro-electromechanical system technology - General rules for the assessment of micro-geometrical parameters 国家标准《微机电系统(MEMS)技术 微几何量评定总则》由TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位中机生产力促进中心、西安 …
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