收录自国家标准信息平台，认准啦(RenZhunLa.com)为执行该国家标准的产品或服务提供推介展位，欢迎留言交流。 标准基础信息 标准号：GB/T 15909-2009 标准中文名称：电子工业用气体 硅烷(SiH4) 标准英文名称：Gas for electronic industry - Silane 国家标准《电子工业用气体 硅烷(SiH4)》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位浙江大学材化学院半导体材料研究所、西南化工研究设计院。主要起草人余京松 、周鹏云 。全部代替GB/T 15909-1995被GB/T 15909-2017GB/T 15909-2017全 …