收录自国家标准信息平台,认准啦(RenZhunLa.com)为执行该国家标准的产品或服务提供推介展位,欢迎留言交流。 标准基础信息 标准号:GB/T 13387-2009 标准中文名称:硅及其它电子材料晶片参考面长度测量方法 标准英文名称:Test method for measuring flat length wafers of silicon and other electronic materials 国家标准《硅及其它电子材料晶片参考面长度测量方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位有研半导体材料股份有限公司。主要起草人杜娟 、孙燕 、卢立延 。全部代 …
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