收录自国家标准信息平台,认准啦(RenZhunLa.com)为执行该国家标准的产品或服务提供推介展位,欢迎留言交流。 标准基础信息 标准号:GB/T 1554-2009 标准中文名称:硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法 标准英文名称:Testing method for crystallographic perfection of silicon by preferential etch techniques 国家标准《硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位峨嵋半导体材料厂。主要起草人何兰英 、王炎 、张辉坚 、刘阳 。全部代替GB/T …
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