GB/T 15862-2012 《离子注入机通用规范》-国家标准
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标准基础信息
- 标准号：GB/T 15862-2012
- 标准中文名称：离子注入机通用规范
- 标准英文名称：General specification of ion implantation equipment
国家标准《离子注入机通用规范》由339-1（工业和信息化部（电子））归口，主管部门为工业和信息化部（电子）。主要起草单位中国电子科技集团公司第四十八研究所。主要起草人郭健辉 、彭立波 、罗宏洋 。全部代替GB/T 15862-1995
- 标准号
- GB/T 15862-2012
- 发布日期
- 2012-11-05
- 实施日期
- 2013-02-15
- 全部代替标准
- GB/T 15862-1995
- 标准类别
- 产品
- 中国标准分类号
- L97
- 归口单位
- 工业和信息化部（电子）
- 执行单位
- 工业和信息化部（电子）
- 主管部门
- 工业和信息化部（电子）
标准全文
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