GB/T 29056-2012 《硅外延用三氯氢硅化学分析方法 硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定 电感耦合等离子体质谱法》-国家标准
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标准基础信息
- 标准号：GB/T 29056-2012
- 标准中文名称：硅外延用三氯氢硅化学分析方法 硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定 电感耦合等离子体质谱法
- 标准英文名称：Trichlorosilane for silicon epitaxy - Determination of boron，aluminium，phosphorus，vanadium，chrome，manganese，iron，cobalt，nickel，copper，molybdenum，arsenic and antimony content - Inductively coupled plasma mass spectrometric method
国家标准《硅外延用三氯氢硅化学分析方法 硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定 电感耦合等离子体质谱法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位南京中锗科技股份有限公司、南京大学现代分析中心、南京大学国家863计划新材料MO源研究开发中心。主要起草人郑华荣 、刘新军 、龚磊荣 、张莉萍 、黄和明 、陈逸君等 。
- 标准号
- GB/T 29056-2012
- 发布日期
- 2012-12-31
- 实施日期
- 2013-10-01
- 标准类别
- 方法
- 中国标准分类号
- L90
- 国际标准分类号
- 31-030
31 电子学 31.030 电子技术专用材料 - 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
标准全文
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