GB/T 29057-2012 《用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程》-国家标准

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标准基础信息

  • 标准号:GB/T 29057-2012
  • 标准中文名称:用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程
  • 标准英文名称:Practice for evaluation of polocrystalline silicon rods by float-zone crystal growth and spectroscopy

国家标准《用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位四川新光硅业科技有限责任公司、乐山乐电天威硅业科技有限责任公司、天威四川硅业有限责任公司。主要起草人梁洪 、刘畅 、陈自强 、张新 、蓝志 、张华端等 。本标准修改采用其他国际标准:SEMI MF1723-1104。采标中文名称:用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程。


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标准号
GB/T 29057-2012
发布日期
2012-12-31
实施日期
2013-10-01
标准类别
方法
中国标准分类号
H80
国际标准分类号
29.045
29 电气工程
29.045 半导体材料
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门
国家标准化管理委员会

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标准全文


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