GB/T 29505-2013 《硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法》-国家标准

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标准基础信息

  • 标准号:GB/T 29505-2013
  • 标准中文名称:硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法
  • 标准英文名称:Test method for measuring surface roughness on planar surfaces of silicon wafer

国家标准《硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位有研半导体材料股份有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所。主要起草人孙燕 、李莉 、卢立延 、翟富义 、向磊 。


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标准号
GB/T 29505-2013
发布日期
2013-05-09
实施日期
2014-02-01
标准类别
方法
中国标准分类号
H80
国际标准分类号
29.045
29 电气工程
29.045 半导体材料
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

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标准全文


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