GB/T 29852-2013 《光伏电池用硅材料中P、As、Sb施主杂质含量的二次离子质谱测量方法》-国家标准

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标准基础信息

  • 标准号:GB/T 29852-2013
  • 标准中文名称:光伏电池用硅材料中P、As、Sb施主杂质含量的二次离子质谱测量方法
  • 标准英文名称:Test method for measuring Phosphorus, Arsenic and Antimony in silicon materials used for photovoltaic applications by secondary ion mass spectrometry

国家标准《光伏电池用硅材料中P、As、Sb施主杂质含量的二次离子质谱测量方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、国家电子功能与辅助材料质量监督检验中心、天津市环欧半导体材料技术有限公司。主要起草人马农农 、何友琴 、王东雪 、何秀坤 、冯亚彬 、裴会川等 。


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标准号
GB/T 29852-2013
发布日期
2013-11-12
实施日期
2014-04-15
标准类别
方法
中国标准分类号
H82
国际标准分类号
29.045
29 电气工程
29.045 半导体材料
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

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标准全文


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