GB/T 30116-2013 《半导体生产设施电磁兼容性要求》-国家标准
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标准基础信息
- 标准号：GB/T 30116-2013
- 标准中文名称：半导体生产设施电磁兼容性要求
- 标准英文名称：Requirements for semiconductor manufacturing facility electromagnetic compatibility
国家标准《半导体生产设施电磁兼容性要求》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。主要起草单位工业和信息化部电子工业标准化研究院、安徽鑫阳电子有限公司。主要起草人黄英华 、谭建国 、刘军 、周历群 、钟华 、冯亚彬 。
- 标准号
- GB/T 30116-2013
- 发布日期
- 2013-12-17
- 实施日期
- 2014-04-15
- 标准类别
- 基础
- 中国标准分类号
- L95
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
标准全文
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